PFCT微流控芯片模具是一種用于PDMS芯片澆筑的模具,具有壽命長(zhǎng),結(jié)構(gòu)精度高,澆筑成型便捷等優(yōu)點(diǎn)。PFCT模具結(jié)合了PMMA和SU8硅片模具的優(yōu)點(diǎn),既有PMMA模具的壽命,又有SU8模具的精度。在批量澆筑成型芯片中不可替代。
模具制作流程:
1、光刻加工:按照光刻工藝流程加工出來(lái)高精度模具,這里同樣需要掩膜,光刻膠,顯影液等完成初步模具的加工。
2、翻模:用上述加工的模具結(jié)構(gòu)翻模出來(lái)PDMS過(guò)渡層;
3、PFCT采用一定比例調(diào)制而成,用PDMS過(guò)渡層再次翻模PFCT,可以得到精度好、更耐用PDMS微流控芯片模具。
外觀結(jié)構(gòu)描述:
1、模具稍有透明度,可透光檢查模具效果及內(nèi)部結(jié)構(gòu);
2、模具厚度可以根據(jù)工藝調(diào)整,一般建議厚度1-2mm即可;
3、加工成型的外形和硅片類似,成圓形也有切邊,上下平整。
功能優(yōu)點(diǎn):
經(jīng)過(guò)測(cè)試PFCT模具澆筑PDMS脫模簡(jiǎn)單,PDMS結(jié)構(gòu)和SU8模具翻模的效果一致,使用過(guò)程中模具不會(huì)碎裂,無(wú)圖案破損等異常,基本是無(wú)限次翻模。且表面清潔便捷,重復(fù)可靠使用。PFCT是批量生產(chǎn)的福音,值得擁有。
常見澆筑PDMS的成型的模具
PDMS澆筑成型的關(guān)鍵是模具,目前主流的模具有:SU8光刻膠模具,PMMA模具,金屬模具等。
SU8模具主要通過(guò)微納光刻技術(shù)在硅片上做出光刻膠凸起圖案,特點(diǎn)是可以做出比較精密的微小流道,且側(cè)壁光滑,澆筑PDMS透光度好,目前比較主流的微流控模具就是SU8模具。缺點(diǎn)就是模具在硅片基底上加工,易碎,壽命比較有限。
PMMA模具和金屬模具對(duì)于結(jié)構(gòu)尺寸稍大的流道是加工的首選,成本比較低,但是對(duì)于100um以下的結(jié)構(gòu)很難做出來(lái)精密的結(jié)構(gòu)。