薄膜/電極制備: 叉指電極是通過電化學(xué)工藝加工獲得超精細(xì)電路,線寬線距可精確控制到5到200μm。作為化學(xué)傳感器,聲表面波濾波器,微波射頻等電信號(hào)傳輸核心部件,廣泛應(yīng)用于移動(dòng)通信、醫(yī)療檢測(cè)、環(huán)境在線監(jiān)測(cè)等重要領(lǐng)域。
電極芯片為復(fù)合材質(zhì)芯片,可根據(jù)實(shí)驗(yàn)?zāi)康?,?duì)電極結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計(jì),常用金屬鍍層為Au、Pt,導(dǎo)電性能相比其他金屬更優(yōu),芯片領(lǐng)域通常用做細(xì)胞捕獲等生物相關(guān)實(shí)驗(yàn)